PVD镀膜对基材表面洁净度要求很高，若基材表面存在油污、灰尘、氧化层等杂质，会直接破坏镀膜与基材的结合力，导致镀膜出现脱落、鼓泡、针孔等缺陷，还可能影响镀膜的均匀性和光泽度，降低产品的外观质量与耐用性。比如在金属饰品PVD镀膜中，残留油污会使镀膜局部附着力不足，佩戴一段时间后就容易出现局部脱落。
 处理方式需分三步：先用中性清洗剂浸泡并超声清洗，除去表面油污和可溶性杂质；接着用去离子水反复冲洗，避免清洗剂残留；再通过真空烘干或低温烘干除去水分，并在烘干后尽快转入PVD镀膜设备，减少基材在空气中的暴露时间，避免二次污染或氧化。