在真空镀膜时，防止微小颗粒污染极为关键。微小颗粒来源广泛，像真空室内清洁不干净的表面、蒸发或溅射源材料中的杂质、气体中的粉尘等。
 为降低此类污染，需对真空室严格清洁与预处理。运用适配的清洁剂及工具，清理表面污垢、油脂与氧化物，再通过高温烘烤等手段进一步除去残留污染物。
 对于真空镀膜材料，务必保证其纯度与质量，避免原材料存在过多杂质颗粒。在镀膜期间，准确调控气体流量与压力，减少气体中的粉尘进入真空室。
 另外，安装过滤装置，可捕获空气中的微小颗粒，阻止其进入镀膜区域。定期对真空系统开展维护与检查，及时更替老化或损坏的部件，也有利于降低颗粒污染几率。