PVD真空镀膜对环境湿度有严格要求。一般来说，理想的环境湿度应控制在40%-60%之间。当湿度异常时，会带来诸多不良影响。若环境湿度过高，水汽会进入真空腔室，在镀膜过程中与金属原子发生反应，形成氧化物或氢氧化物，导致膜层质量下降，出现膜层颜色不均匀、光泽度降低等问题。而且水汽还会吸附在基体表面，影响膜层与基体的结合力，使膜层容易脱落。
 另一方面，湿度过低，空气过于干燥，容易产生静电，静电会吸附灰尘颗粒，这些颗粒在镀膜时会混入膜层，形成缺陷，降低膜层的平整度和致密性，影响膜层的性能和外观。所以，在PVD真空镀膜过程中，须严格控制环境湿度，以保证镀膜质量。