真空镀膜设备真空度下降，主要与真空系统的密封性能、真空泵工作状态及真空元件老化有关。真空镀膜设备的密封件（如密封圈、密封胶）长期使用后会出现磨损、老化、变形等问题，导致真空室与外界空气泄漏，此时需检查真空室门、法兰接口等关键密封部位的密封件，若发现损坏及时更换，并确保安装时密封面清洁无杂质，涂抹密封胶增强密封性。
 其次，真空泵（如机械泵、分子泵）是维持真空度的核心部件，若机械泵油污染、油量不足，或分子泵叶片磨损、电机故障，都会导致抽真空效率下降，进而使真空度降低，因此需定期检查真空泵状态，按要求更换机械泵油，清洁泵内杂质，若真空泵出现故障需及时维修或更换。
 此外，真空管道内若积累粉尘、镀膜残渣，会堵塞管道，影响抽气速率，需定期拆卸真空管道进行清洁，确保气路通畅，同时检查真空阀门是否正常开关，避免因阀门卡滞导致的真空泄漏问题。