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PVD真空镀膜

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PVD真空镀膜厂家浅谈真空镀膜机常见故障

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2020-10-17

一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶国损环(更换胶圆)
2.坩埚被打穿(更换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
4.工转动密封处胶固损坏(更换胶園)
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
7.机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圆)
9.挡板动密封处胶园损坏(更换胶圈)
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:
1.蒸发室有很多粉尘(应清冼)
2.扩散泵很久未换油(应清冼换油)
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清先换油)
4.各动密封胶圈损坏(更换胶罔)
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶國损坏(更换胶圈)
7.各引入座螺钉螺母有无松动现象(重新压紧)
8、高低预阀是否密封可靠(注油)。