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真空镀膜设备维修保养的技巧

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2022-07-23

真空镀膜设备主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜,包括很多种,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等等。主要思想是将其分为蒸发和溅射。

需要镀膜的就成了基材,镀的材料就成了靶材。衬底和靶一起在真空室中。

蒸发镀膜一般是将靶材加热,使表面成分以原子团或离子的形式蒸发,并沉积在基片表面。通过成膜过程(散点-岛状结构-杂散结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射镀膜,可以简单理解为用电子或激光轰击靶材,表面成分以原子团或离子的形式溅射出来,终沉积在基片表面,经过成膜的过程,终形成薄膜。

真空镀膜设备维护技巧

1.真空镀膜设备200多道涂装工序完成后,工作室要打扫一次。方法是:用苛性钠饱和溶液反复擦洗真空室内壁(注意人体皮肤不要直接接触苛性钠溶液,以免灼伤)。目的是使镀膜材料铝与NaOH发生反应,反应后薄膜会脱落并释放出氢气。然后用清水清洗真空室,用蘸有汽油的布清洗细抽阀内的污垢。

2.当低真空泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)时,需要更换新油。方法是:拧下放油螺栓,将旧油放掉,然后启动泵几秒钟,使泵内旧油全排出。拧回注油螺栓,并添加新油至额定量(用油镜观察)。连续使用半年以上,换油时要打开油盖,用布将盒内污垢擦拭干净。

3.如果扩散泵已连续使用6个月以上,则抽气速度明显变慢,或操作不当。充入大气,拆下连接水管,卸下电炉板,旋出一次喷嘴。先用汽油清洗泵腔和泵衬,再用洗衣粉加水冲洗。然后,用清水清洗。水蒸发干后,装上泵胆,加新的扩散泵油,放回体内,接好水管。重启机器前,注意泄漏检测。

方法是:启动维护泵,关闭门,几分钟后,观察扩散泵的局部真空度是否达到6X10 Pa,否则需要检漏。检查密封橡胶圈是否安装在接头处或密封圈是否被压碎。排除漏气隐患后才能加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。