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真空镀膜:真空镀膜设备镀铝工艺中的常见问题

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2022-03-26

真空镀膜常见问题解答:

1.镀铝时,薄膜呈现孔洞。

原因是:

蒸发舟里面的铝太满了。解决方法:降低铝的输送速度:蒸发舟向前流动。

②真空室中的蒸发容器之间短路。方法清除短路。

③真空室中的杂质飞溅

2.镀铝时,薄膜被拉伸。

原因是:

基底张力过大。解决方法:调整放卷张力控制系统,适当降低张力。

(2)冷却系统运行异常。解决方法:检查冷却系统并清理干净。

3.薄膜的外观是棕色条纹。

原因是:

(1)低真空溶液:清洁真空室内的铝供料、蒸发镀铝设备、冷却系统、放卷、收卷设备和导辊;检查抽真空系统;降低环境湿度。

②薄膜释放气体。解决方法:可以延长抽真空时间。

(3)喷铝过量。解决方法:前进速度降低蒸发船电流;降低铝的输送速度。

④蒸发舟内有杂质。方法清洗蒸发舟和隔热罩。

蒸发舟老化。解决方法:更换蒸发船。