真空度不足是PVD镀膜设备基础且高发的故障，直接导致镀膜质量不合格、膜层瑕疵多，设备无法正常生产，故障原因主要分为设备密封、零部件、操作环境三类。先是设备密封系统泄漏，PVD镀膜设备的腔体密封圈、法兰接口、阀门密封件长期使用会出现老化、变形、磨损，导致外界空气渗入腔体，无法达到工艺所需高真空度，同时日常开合腔体、清洁设备时的磕碰，也会造成密封部件错位漏气。其次是设备真空组件故障，设备的机械泵、分子泵、罗茨泵等核心真空部件磨损、积油、卡顿，真空泵滤芯堵塞、油液变质，会大幅降低抽真空效率，无法将腔体内空气彻底抽出，是真空度不达标的核心硬件问题。
 另外，腔体内部残留水分、油污、粉尘等杂质，抽真空过程中杂质持续挥发气体，会持续破坏腔体真空环境。同时，开机预热时间不足、设备低温运行，也会影响抽真空效果。针对该问题，需定期检查PVD镀膜设备所有密封部件，及时更换老化配件、校准接口密封性；定期保养真空泵，更换真空油与滤芯，清理泵体杂质；镀膜前清洁烘干腔体与工件，预留充足设备预热时间，保障设备真空度达标，稳定镀膜生产。