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真空镀膜设备厂家分析主泵形式

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2021-10-19

真空镀膜机装置的主要泵形式分为两种,即油真空泵和无油超滤装置。这两个系统软件的工作形式都不一样。以下真空镀膜设备制造商分析了主要的泵形式。

有机油超滤装置基本为油扩散泵,前置泵为真空泵或罗茨真空泵。我们知道,油扩散泵的工作压力方向比较大,同时抽真空速度很高,可以达到每秒10万升以上,其专业能力在业内数一数二,这也归功于其优秀的特质。就优点而言,该有机油超滤装置运行可靠,无振动、无噪音,使用寿命长,维护和库存创建成本低。是很多厂商喜爱的应用。但是它的缺陷也很明显,就是会产生污染物,而大型泵在这些方面就比较严重了。

无油超滤装置采用分子泵和低温泵作为主泵,其关键特点集中在可以连续大量抽真空,并且可以得到一个极高的真空泵来清理无油。而且启动时间快,停泵时间短。

然而,系统软件泵送重蒸汽的速度比轻蒸汽快,而泵送水蒸气的效率较慢。当大量蒸汽通过泵时,泵的效率会迅速降低。