PVD镀膜过程对环境湿度具有特殊要求。湿度会影响镀膜质量和设备稳定性。当环境湿度过高时，水汽可能会混入镀膜腔室，与靶材反应生成杂质，导致膜层出现气孔、疏松等缺陷，降低膜层的致密性和结合力。而且过多水汽还可能影响等离子体的稳定性，使镀膜过程难以准确控制。
 一般来说，PVD镀膜环境的相对湿度应控制在30%-50%之间。为达到这个要求，车间通常会配备除湿设备，实时监测并调节湿度，以保证镀膜过程在稳定的湿度环境下进行，从而获得高质量的膜层。