PVD真空镀膜期间，气体杂质极易致使膜层出现针孔、麻点等瑕疵，严重影响膜层质量。为规避这类问题，需多管齐下。
 对于镀膜设备的真空系统，要进行严格维护和周期性检查。保证真空泵能稳定运行，抽除系统内的气体杂质。每次镀膜前，务必对真空腔进行全面烘烤除气，使腔壁吸附的水分、气体等杂质充分逸出并被抽走。
 气体源纯度是关键因素。应挑选高纯度的PVD真空镀膜气体，在气体注入真空腔前，增设气体过滤装置，深度过滤可能混入的微小颗粒杂质。
 镀膜时，对真空度和气体流量进行实时监测。一旦察觉数据异常，马上停止镀膜操作，迅速排查问题根源。通过这些措施，切实保障膜层质量，防止因气体杂质引发的各类缺陷。