PVD镀膜膜层的自润滑性能受多种因素影响。先是膜层材料本身，不同的材料具有不同的摩擦系数和润滑特性，例如含有石墨、二硫化钼等成分的膜层通常具有较好的自润滑性能。
 其次，膜层的微观结构也很关键，致密、均匀的微观结构有助于提高自润滑性能。
 另外，镀膜工艺参数，如沉积温度、沉积速率等，会影响膜层的结构和性能，进而影响自润滑性能。同时，使用环境也会对自润滑性能产生影响，高温、高负荷等恶劣环境可能会破坏膜层的润滑结构，降低自润滑性能。