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PVD真空镀膜厂家分析在PVD真空镀膜过程中,出现膜层厚度不均匀的原因
来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-10-26
PVD真空镀膜出现膜层厚度不均匀现象,这可能有多种原因。PVD真空镀膜厂家带大家了解一下。
一是靶材的问题,如果靶材表面不均匀磨损或有杂质附着,会导致溅射出来的物质分布不均,从而影响膜层厚度均匀性。例如,靶材长期使用后,某些部位磨损严重,溅射效率变低。
二是真空室内的气体流场不稳定,气体的流动和分布不均匀会使镀膜物质在工件表面的沉积不均匀。比如,进气管道的设计不合理或者气体流量控制不准确,都可能导致这种情况。
解决方法是定期检查和更换靶材,确保靶材表面的平整度和纯度;优化真空室的气体进气系统,保证气体流场的稳定性。