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了解下真空镀膜加工中的离子镀

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2023-06-11

 你听说过离子涂层吗?真空涂层加工中的真空离子涂层与普通离子涂层有什么区别?接下来,简要介绍这两种离子涂层的区别!
 挥发性物质的分子在电子冲击和水解后以离子的形式附着在固体表面,这被称为离子镀,这是一种普通的离子镀。真空离子镀是真空蒸发和负极溅射技术的集成。离子镀系统以基体材料为负极,外壳为阳极,充满稀有气体(如氩气),产生电弧放电。当蒸发源蒸发的分子根据等离子体区域水解时。正离子被负电压加速到基体材料表面。未水解的中性原子也附着在基板或真空室壁表面。电场对离化蒸汽分子的加速作用(离子动能约100~100多个电子伏)和氩离子对基板的溅射作用大大提高了膜的附着强度。离子镀工艺结合了挥发性(高堆积速度笑话和溅射)的特点,具有良好的绕射性,适用于复杂形状的工件涂层。

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