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PVD真空镀膜

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PVD真空镀膜厂:真空镀膜设备结构和原理

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2021-12-21

真空电镀加工由机械泵、分散泵、增压泵、膨胀泵、ROTS泵、粉碎机叶轮分子泵等组成。根据选择电阻蒸发法等电镀工艺方法的技术标准,整体目标原料由磁控源和有限多弧开关电源提供,真空泵测量可选择大型数字智能负压计和高质量测量规格,及其全自动工作压力机械手等检测仪器。膜厚可以用方形电阻计、透射比计等测量。

炉体可以是由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。根据加工工艺,真空泵镀膜机械设备采用不同规格型号的镀膜机械设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心负离子镀、多弧离子镀等。夹具的方法包括旋转,旋转,旋转,旋转等。客户可根据基础钢板的规格和外观、轧制速度和车削精度的匹配规定,用DC变频调速。

曝气方式可从质量流量计、浮子、针阀和相关灌装阀中选择,可选择多通道曝气管道和总流量的相关主要参数。真空镀膜设备根据被烘烤的结构,提出烘烤温度、材料和相应的外部测量。根据设备的使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合控制方式。完善的报警系统,对真空室、分散泵断相、缺水、气压、电力负荷过压过流等异常情况进行声光报警。