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真空镀膜机的原理

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2021-05-07

真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大工作原理。

真空主题--真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有链接阀,用来链接各抽气泵浦。

辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成,此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold组成”。

排气流程为:机械泵先将真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空状态,为扩散泵后续抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,已这样的方式完成抽气动作。

机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用最广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。