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PVD真空镀膜

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pvd真空镀膜机注意事项

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2020-06-19

PVD真空镀膜机注意事项:

一、开机要先检查水路的畅通性,确定冷却塔、真空泵是否正常工作,检查气路是否畅通,确定空压机是否正常工作。

二、要确定真空室内的膜料、离子源灯丝、工件架是否按要求放置。

三、工艺完成后要关闭电子枪和离子源等开关,待真空镀膜设备冷却一消失后方可关闭电源。

四、未经允许不可开店电柜、真空室的屏蔽门。