你好!欢迎来到泰兴市恒欣真空镀膜科技有限公司官网!

网站地图 | RSS订阅

PVD真空镀膜

0523-87493816
联系我们
全国咨询热线:0523-87493816

泰兴市恒欣真空镀膜科技有限公司

联系人: 朱经理

手机: 13816537611

电话: 0523-87493816

传真: 0523-87492916

邮箱: hxcoating@hotmail.com

网址: www.hx-pvd.com

地址: 江苏省泰州市姜堰区顾高镇双园路666号-1

真空镀膜常用方法

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2019-09-18

江苏PVD真空镀膜的方法很多,计有:

(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。

(2)江苏PVD真空镀膜中的阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。

(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。

(4)江苏PVD真空镀膜中的离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。