真空镀膜时产生的微小颗粒杂质危害不容小觑。这些杂质可能会附着在镀膜表面，导致膜层出现凸起或凹陷，破坏膜层的平整度和光滑度。从光学性能上看，会使镀膜的透光率、反射率等光学指标发生偏差，降低光学元件的性能。
 在机械性能方面，颗粒杂质所在位置的膜层结合力会变弱，容易出现膜层脱落现象，影响镀膜产品的使用寿命。而且，杂质还可能成为腐蚀的起始点，加速膜层被外界环境侵蚀，进而影响整个镀膜产品的稳定性和可靠性。