在真空镀膜进程中，残余气体对膜层质量存在多方面影响。残余气体里的氧气，易与镀膜材料发生氧化反应，生成氧化物杂质，致使膜层纯度与性能降低。以镀金属膜为例，金属一旦被氧化，膜层的导电性、反射率等性能便会下滑。氮气有可能和镀膜材料进行氮化反应，改变膜层成分与结构。
 另外，残余气体分子会与蒸发的镀膜原子相互碰撞，改变原子运动路径和能量，使得膜层致密性欠佳，出现孔隙与空洞，进而降低膜层硬度和耐磨性。而且，残余气体还可能吸附于基底表面，影响镀膜原子与基底的结合力，导致膜层易脱落。为确保膜层质量，需运用高性能真空泵组提升真空度，减少残余气体含量。