当处理对膜层内应力敏感的材料时，江苏PVD真空镀膜需严格控制内应力，否则膜层易出现裂纹、剥落等问题。膜层内应力主要源于膜料原子在沉积过程中的晶格畸变以及膜层与基体材料热膨胀系数的差异。
 在实际操作中，通过调整镀膜工艺参数，如降低沉积速率，使原子有足够时间排列，减少晶格畸变产生的应力；在江苏PVD真空镀膜前对基体进行预热处理，减小镀膜过程中膜层与基体的温差，降低因热膨胀系数差异导致的热应力；同时，在镀膜后采用适当的退火工艺，清理除部分内应力。
 另外，选用与基体热膨胀系数匹配度高的膜料，也能从根本上控制内应力。