在PVD真空镀膜过程中，准确控制膜层厚度至关重要。先要准确校准膜厚监测仪，保证测量准确性。采用先进的闭环控制系统，依据监测数据及时调整镀膜工艺参数，像溅射功率、气体流量等。由于不同材料和产品的膜厚要求不同，需提前进行试验确定适宜的工艺参数组合。
 此外，定期维护保养设备的电极、挡板等部件，避免因部件老化或故障而影响膜层沉积，从而实现稳定且准确的膜层厚度控制。