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分析PVD真空涂料设备的检漏方法

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-04-29

 PVD真空镀膜厂家的设备检漏是保证镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏。真空度高低能直接影响镀膜效果,因此检漏是至关重要的。
 一般来说,真空室内漏气是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接缝中产生的。当抽气系统抽气时,真空室内的压力降低,外部和内部的压差使气体从高压流向低压真空室,导致真空度降低。
 真空镀膜设备在检漏过程中,需要注意以下问题,才能做好检漏工作。
 1、确认PVD真空镀膜厂家的设备漏气到底的虚漏还是实漏。由于工件材料加热后会产生不同程度的气体,可能会误认为是从外部流入的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。
 2、测试真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。
 3、检查漏孔大小、形状、位置、漏气速度,制定可解决方案并实施。
 4、确定PVD真空镀膜厂家的检测仪器的较小可检漏率和检漏灵敏性,大范围的检测漏气情况,避免部分漏孔被忽视,提高检漏准确性。
 5、把握检漏仪器的反应时间和排除时间。把握好时间,确保检漏仪器工作到位。时间少了,检漏效果肯定差。时间长了,会浪费检漏气体和人工电费。
 6、避免PVD真空镀膜厂家漏孔堵塞。有时由于操作失误,在检漏过程中,一些灰尘或液体堵塞了漏孔,认为这个位置没有漏孔。但是,当这些堵塞物由于内外压差的增加或其他原因堵塞时,仍然存在漏气。

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