在PVD真空镀膜的工艺中，表面清洗非常重要，直接影响产品的电镀质量。在进入镀膜室之前，须在镀膜前仔细清洗。表面污染来源于工件的加工和运输，以及各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗液等。附在包装过程中。为了避免加工造成的不良反应，在PVD真空镀膜加工过程中，厂家一般可以通过脱脂或化学清洗的方式。

对于已经清洁过且不能储存在大气环境中的清洁表面，应使用密封容器或清洁箱进行储存，以减少灰尘和污垢。通过将玻璃底板储存在新的氧化铝容器中，碳氢化合物蒸汽的吸附可以降低。这种容器更倾向于吸附碳氢化合物。对于不稳定性高、对水蒸气敏感的真空镀膜加工，一般应存放在真空干燥箱中。

采用PVD真空镀膜处理，清理涂装间的粉尘，设置高洁净度的车间，保持室内清洁，是涂装工艺对环境的基本要求。在空气湿度高的地方，除了在电镀前仔细清洁基板和真空室部件外，还需要烘烤和脱气。为防止油进入真空室，应注意油扩散泵的回油，对热能高的扩散泵须采取挡油措施。