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分享pvd真空镀膜设备检漏方法

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2022-04-25

PVD真空镀膜厂家设备检漏是保证镀膜设备真空度的检验措施,简称检漏。真空度直接影响镀膜效果。

一般来说,真空室中的空气泄漏是由室壁上的一些孔或组件前面的接头引起的。当抽气系统抽空气时,真空室内的压力降低,内外压力差使气体从压力高的外部流向压力低的真空室内,造成真空度降低。

在真空镀膜设备的检漏过程中,为了做好检漏工作,应注意以下几个问题。

要确认PVD真空镀膜厂商设备的漏电是虚漏还是实漏。因为工件材料加热后会不同程度的产生气体,可能会被误认为是气体从外面流入,属于虚漏。这种情况应该排除。

二,测试真空室的气体密封性能。确保气密性符合要求。

三,检查漏风孔的大小、形状、位置、漏风速度,制定解决方案并实施。

四,确定PVD真空镀膜厂商的检测仪器的小检漏率和检漏灵敏度,以便大范围检测漏气,避免某些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。

五,掌握好检漏仪的反应时间和排除时间。把握好时间,确保检漏仪工作到位。如果时间短,检漏效果肯定差。时间长了,就浪费了检漏气和人工电费。

有时由于操作失误,在检漏过程中,一些灰尘或液体堵住了漏孔,以为这个位置没有漏孔。然而,当这些塞子没有由于内外压差增大或其他原因堵塞泄漏孔时,泄漏仍然存在。

做好真空镀膜设备的检漏工作非常重要。真空度降低的原因是多方面的。我们应该逐一解决这些原因,以稳定涂层效果。

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