真空镀膜加工时，大多只记录靶材的使用时长，很少关注靶材损耗形貌对终端成品带来的连锁变化，靶材随着溅射持续进行，表面会形成跑道状侵蚀沟槽，沟槽深度逐步加大之后，溅射出来的粒子角度、粒子通量都会发生改变，直接作用在每一件镀膜产品之上。
 靶材磨损初期，侵蚀沟槽浅，粒子输出状态稳定，产品膜层厚度、成分都可以保持一致；当沟槽不断加深，靶材不同区域溅射效率分化，同一炉腔体内部不同位置工件，接收的膜材粒子数量出现偏差，带来成品膜厚的不均匀，装饰类产品会显现出色差，功能性镀膜产品则会出现电阻、透光参数浮动。靶材局部过度损耗，容易在溅射过程中诱发弧光放电，弧光会把靶材熔融颗粒喷射出来，落在工件表面形成细小硬点颗粒缺陷，这类颗粒缺陷尺寸微小，普通目视检查容易漏掉，在后续摩擦使用中，颗粒点位会率先发生起皮脱落。即便还没有出现打弧现象，靶材临近使用寿命末期，部分靶材背板会被暴露，背板材料会混杂进入薄膜内部，引入外来杂质，杂质混入会降低膜层致密度，削弱产品耐蚀以及耐磨表现。很多生产场景会为了充分利用靶材，一直用到临近击穿才做更换，却没有意识到此时产出的大批成品，内在品质已经偏离标准，后期终端产品会集中出现早期失效，只看外观很难发现这类隐患。